技術參數：

◆模塊化設計，可以搭建不同構件完成不同測試

◆探針臺整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調節    

◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試

◆兼容高倍率金相顯微鏡，純光學放大500倍

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）

◆探針采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計

◆1微米以上電極/PAD使用

◆加寬探針架，可以放置6個DC探針座/4個RF探針座

◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅動形式

◆多被用于科研院校搭建測試系統，例：材料電學測試系統、光電探測器光電響應系統、光電Mapping測試系統、憶阻器與神經元系統等等